世界初、HVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功 ―パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献―
世界初、HVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功
―パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献―
大陽日酸株式会社（社長 永田 研二）は、国立大学法人 bet36体育在线_bet36体育投注-官网网站@、ならびに株式会社ノベルクリスタルテクノロジーと共同で、HVPE法による6インチウエハ上の酸化ガリウム成膜に世界で初めて成功しましたのでお知らせいたします。
詳細は、以下をご参照ください。